Рост, структура и свойства тонкопленочных нитридных материалов
Монография
978-3-659-30871-0
3659308714
176
2013-01-25
68.00 €
rus
https://images.our-assets.com/cover/230x230/9783659308710.jpg
https://images.our-assets.com/fullcover/230x230/9783659308710.jpg
https://images.our-assets.com/cover/2000x/9783659308710.jpg
https://images.our-assets.com/fullcover/2000x/9783659308710.jpg
В настоящей работе проведено изучение влияние метода реактивного распыления на фазовый состав, структуру, кинетику роста и свойства тонкопленочных нитридных покрытий, полученных разными методами реактивного распыления. Экспериментально показано, что пленки, полученные различными методами реактивного распыления на разных подложках являются многофазными и нередко многослойными, причем различие в структуре и свойствах нитридных пленок обусловлено разной энергией ионов азота и титана и разной плотностью их потока, кинетикой и температурой нарастания пленок. Установлено, что при использовании метода ИИ формируются пленки, обладающие высокими механическими, электрическими, адгезионными и электрохимическими свойствами. Пленки, полученные методом КИБ, содержат наиболее высоко дисперсностные нитриды с высокой твердостью, коррозионной стойкостью и адгезией на подложке. Максимальным удельным сопротивлением обладают пленки, полученные методом ИИ на подложках тугоплавких металлов. Выявлено, что в методе ИИ материал подложки оказывает заметное влияние на фазовый состав и структуру наращиваемых пленок, в случае метода КИБ, это влияние незначительно. Впервые теоретически и экспериментально н
https://morebooks.de/books/ru/published_by/lap-lambert-academic-publishing/47/products
Монографии
https://morebooks.de/store/ru/book/%D1%80%D0%BE%D1%81%D1%82,-%D1%81%D1%82%D1%80%D1%83%D0%BA%D1%82%D1%83%D1%80%D0%B0-%D0%B8-%D1%81%D0%B2%D0%BE%D0%B9%D1%81%D1%82%D0%B2%D0%B0-%D1%82%D0%BE%D0%BD%D0%BA%D0%BE%D0%BF%D0%BB%D0%B5%D0%BD%D0%BE%D1%87%D0%BD%D1%8B%D1%85-%D0%BD%D0%B8%D1%82%D1%80%D0%B8%D0%B4%D0%BD%D1%8B%D1%85-%D0%BC%D0%B0%D1%82%D0%B5%D1%80%D0%B8%D0%B0%D0%BB%D0%BE%D0%B2/isbn/978-3-659-30871-0