Математическая модель пленочного покрытия
Напряжения и формирование рельефа поверхности
978-3-8465-1605-8
3846516058
96
2011-12-15
49,00 €
rus
https://images.our-assets.com/cover/230x230/9783846516058.jpg
https://images.our-assets.com/fullcover/230x230/9783846516058.jpg
https://images.our-assets.com/cover/2000x/9783846516058.jpg
https://images.our-assets.com/fullcover/2000x/9783846516058.jpg
Интерес к исследованию и разработке тонкопленочных технологий не ослабевает вследствие перспектив их практического применения в электронной и оптоэлектронной промышленности. При этом возможность продолжительной эксплуатации приборов микроэлектроники и оптоэлектроники в значительной мере зависит от стабильности образующих их тонкопленочных структур. В представленной работе автором предпринята попытка изучения механизма взаимодействия пленочного покрытия с упругим основанием. Различие между параметрами кристаллических решеток материалов пленки и подложки обуславливает возникновение в пленке напряжений несоответствия. Предполагается, что, создаваемое поле напряжений активирует массоперенос вдоль поверхности покрытия, а при высоких температурах – и вглубь материала пленки. Таким образом, в качестве модели волнообразования поверхности напряженного тела рассматривается модель потери устойчивости плоской формы поверхности в результате диффузионных процессов, локализованных в приповерхностном слое. При этом учитываются различные формы эволюции рельефа. При помощи метода возмущений анализируется концентрация напряжений, вызванная искривлением поверхности пленки.
https://morebooks.de/books/it/published_by/lap-lambert-academic-publishing/47/products
Meccanica, acustica
https://morebooks.de/store/it/book/%D0%BC%D0%B0%D1%82%D0%B5%D0%BC%D0%B0%D1%82%D0%B8%D1%87%D0%B5%D1%81%D0%BA%D0%B0%D1%8F-%D0%BC%D0%BE%D0%B4%D0%B5%D0%BB%D1%8C-%D0%BF%D0%BB%D0%B5%D0%BD%D0%BE%D1%87%D0%BD%D0%BE%D0%B3%D0%BE-%D0%BF%D0%BE%D0%BA%D1%80%D1%8B%D1%82%D0%B8%D1%8F/isbn/978-3-8465-1605-8