Filmes finos de diamante CVD
Estudo da incorporação de boro por XPS
978-3-330-99663-2
3330996633
176
2017-05-19
64,90 €
por
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Diamante dopado com boro (BDD) é um semicondutor do tipo p com propriedades únicas e aplicações na mecânica, eletrônica, eletroquímica e biomedicina. Considerando as aplicações do BDD é fundamental entender o mecanismo de incorporação do boro na estrutura do diamante para o aperfeiçoamento da produção desse material. Neste trabalho, foram estudados os efeitos da incorporação de CH4 e Ar na incorporação de boro em filmes de diamante micro e nano-cristalino crescido pelo método CVD. As amostras foram analisadas por Microscopia Eletrônica de Varredura, Espectroscopia Raman e Difração de Raios X, Mott Schottky Plot e, especialmente, Espectroscopia de Fotoelétrons Excitados por Raios X (XPS). As medidas de XPS foram realizadas em dois modos de varredura distintos e mostraram resultados importantes sobre a incorporação de boro em BDD. O livro ainda apresenta uma ampla revisão bibliográfica sobre o crescimento e dopagem de diamante CVD e as técnicas de caracterização utilizadas. Este trabalho é fundamental para pesquisadores da área de Engenharia de Materiais especialmente para aqueles envolvidos com a produção, caracterização e aplicação de BDD.
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Egyéb
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