Примесь бора в монокристаллическом кремнии
МОНОГРАФИЯ
978-620-2-51285-5
6202512857
112
2020-03-16
49.90 €
rus
https://images.our-assets.com/cover/230x230/9786202512855.jpg
https://images.our-assets.com/fullcover/230x230/9786202512855.jpg
https://images.our-assets.com/cover/2000x/9786202512855.jpg
https://images.our-assets.com/fullcover/2000x/9786202512855.jpg
В книге представлены исследования поведения примеси бора в монокристаллическом кремнии, выращенного по методу Чохральского. Приведены результаты вычисленных значений силы кулоновского взаимодействия для некоторых пар ионов в монокремнии. Дана оценка энергий связи Si-O, Si-B, B-O для одинарной связи. Проведен анализ взаимодействия ионов примесей между собой в среде вакуума и аргона, а также в среде расплавленного кремния. Рассчитана термодинамическая вероятность состояния системы Si-B, количество микросостояний системы при разных степенях легирования примесью. Установлена зависимость конфигурационной энтропии системы с учетом комплексообразования примеси. Проведен анализ энергии Гиббса при различных степенях легирования. Представлены измерения электрического сопротивления пластин до и после термической обработки. Прослежено изменение электросопротивления в зависимости от температуры и времени выдержки. На основе полученных экспериментов были проведены: дисперсионный анализ матричной системы, оценка результатов по критерию Кохрена и Стьюдента. Построены математические модели. Все экспериментальные результаты работы воспроизводимы и реальны при построении данной матрицы планирования.
https://morebooks.de/books/cn/published_by/lap-lambert-academic-publishing/47/products
物理化学
https://morebooks.de/store/cn/book/%D0%BF%D1%80%D0%B8%D0%BC%D0%B5%D1%81%D1%8C-%D0%B1%D0%BE%D1%80%D0%B0-%D0%B2-%D0%BC%D0%BE%D0%BD%D0%BE%D0%BA%D1%80%D0%B8%D1%81%D1%82%D0%B0%D0%BB%D0%BB%D0%B8%D1%87%D0%B5%D1%81%D0%BA%D0%BE%D0%BC-%D0%BA%D1%80%D0%B5%D0%BC%D0%BD%D0%B8%D0%B8/isbn/978-620-2-51285-5