Плазменные источники ионов с полым катодом的封面
书籍主题:

Плазменные источники ионов с полым катодом

совершенствование и применение в технологиях микроэлектроники

LAP LAMBERT Academic Publishing (2012-11-06 )

Books loader

Omni badge 有获得代金券的资格
ISBN-13:

978-3-659-29592-8

ISBN-10:
3659295922
EAN:
9783659295928
书籍语言:
俄语
作品简介:
Настоящая работа посвящена новым аспектам научного исследования, модернизации и применения источников ионов на основе газового разряда с полым катодом. Несмотря на то, что источники данного типа обладают рядом бесспорных достоинств, об их успешном применении в современных технологиях микроэлектроники известно крайне мало. В связи с этим, автор изучает работу источников на химически активных газах, в число которых входят органические соединения для «набирающей ход» углеродной (органической) электроники и детально описывает процессы создания новых технологических источников с улучшенными техническими характеристиками. Помимо этого, в число представленных в книге разработок входят источники с большой площадью поперечного сечения пучка частиц, востребованные промышленными производственными установками. Автор приводит результаты разработки и анализа основ технологий синтеза различных модификаций тонких пленок углерода, а также очистки подложек микроплат непосредственно с помощью пучков ионов.
出版社 :
LAP LAMBERT Academic Publishing
网址:
https://www.lap-publishing.com/
由(作者):
Евгений Шевченко
页码 :
160
发表日期:
2012-11-06
现货:
备有现货
类别:
电子学,电子-技术,通信技术
价格:
59.00 €
关键词:
Плазма газового разряда, источники ионов, электронов, осаждение пленок, очистка подложек, тенологии микро- и наноэлектроники

Books loader

Adyen::diners Adyen::jcb Adyen::discover Adyen::amex Adyen::mc Adyen::visa Adyen::cup Adyen::unionpay Adyen::paypal Paypal 银行转帐

LOGIN
  0产品在购物车内
编辑购物车
Loading frontend
LOADING